EDXRF即能量色散型X射线荧光光谱。本仪器由荷兰帕纳科公司 (PANalytical B. V., the Netherlands) 生产制造，型号为Epsilon 5。Epsilon 5 EDXRF是国际先进的痕量元素分析仪器，可以定量测量从Al到U的38种元素，并可对Na、Mg进行半定量分析。检测浓度由ppb到100%。该仪器可在100KV电压，功率600W情况下工作，使用Ga阳极X射线管及高纯Ge探测器。该仪器具有三维光路系统，探测器处于X-射线偏振面内垂直于X-射线入射的方向上，确保实施高度偏振，大大地降低了由散射X射线产生的背景。同时，该仪器具备多达12个偏振二次靶，可以实现元素的选择激发，提高信噪比，大大降低了仪器的检测限。Epsilon 5 EDXRF具有样品制备简单、能进行多元素测定、灵敏度高、分析速度快、重现性好、成本低和非破坏测定等优点，是大气气溶胶样品中元素测量的有效方法之一

本仪器通过美国MicroMatter公司的薄膜滤纸和NIST的2783号标准物质进行校正。对于石英滤纸样品，我们的仪器可测的元素中，S, Cl, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Zn, As, Br, Pb测量结果准确，Na, Mg, Al, Si, V, Co, Ni, Rb, Sr, Mo, Cd, Sn, Sb, Ba和Cu的结果仅供参考。对于Teflon滤纸样品，我们可测得元素有： Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Sc, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Zn, As, Br, Rb, Sr, Mo, Cd, Sn, Sb, Ba, Cu和Pb。一般滤纸样品不需要前处理，直接进样。要求滤纸样品上的沉积量（loading）最好在0.5-4mg之间，分布状态均匀。测样所需时间为半小时，所需样品面积不小于47mm样品的1/4。本仪器得到样品的浓度单位是ug/cm2。